德國LAMTECH平面度測(cè)量儀
LAMTECH平面度快速測(cè)量機(jī)，采用掠入射光干涉原理，專注于高精密加工表面平面度快速測(cè)量評(píng)估, 廣泛應(yīng)用于航空航天，汽車工業(yè)噴油嘴行業(yè)，泵、閥門密封件表面，以及光學(xué)工程，激光工程等領(lǐng)域。
LAMTECH平面度快速測(cè)量機(jī) | 平坦度儀|平整度儀高精密非接觸測(cè)量半導(dǎo)體晶圓(wafers)、玻璃(glass)、密封件表面、陶瓷表面、高精密機(jī)械表面等行業(yè)的平面度測(cè)量。
德國LAMTECH平面度測(cè)量儀，快速檢測(cè)平面度，是由德國LAMTECH公司研發(fā)生產(chǎn)，德國品質(zhì)，值得信賴。
德國LAMTECH平面度測(cè)量儀特點(diǎn)：
◆ 非接觸式平面度測(cè)量接觸
◆ 高精密評(píng)估: ＜0.4μm
◆ 測(cè)量速度快: ＜3秒
◆ 可用于車間現(xiàn)場(chǎng), 100%全檢
◆ 平面度評(píng)估符合ISO/TS12781-1(FLTt)
◆ 三維形貌評(píng)估軟件, 可支持CNC編程批量檢測(cè)
◆ 表面自動(dòng)識(shí)別系統(tǒng), 或手動(dòng)區(qū)域(圓, 圓環(huán), 矩形區(qū)域)評(píng)估
◆ 數(shù)據(jù)采集量大, 一次完成對(duì)300,000點(diǎn)的評(píng)估
◆ 快速生成報(bào)告并保存為.csv數(shù)據(jù)格式, 支持Q-das等統(tǒng)計(jì)分析軟件
◆ 廣泛應(yīng)用于拋光, 研磨或細(xì)磨精密表面, 像閥門盤, 密封環(huán)等
平面度檢測(cè)儀技術(shù)參數(shù)：
型 號(hào) | TOPOS 50 | TOPOS 100 | |
測(cè)量范圍(直徑) | 50mm | 100mm | |
參考平面平面度 | 優(yōu)于0.06μm | ||
參考面材料 | 石英玻璃 | ||
靈敏度 | 0.5,1,2或4μm每紋 | ||
精度 | (0.1??0.4)um + 2%x測(cè)量值, 基于靈敏度 | ||
Z軸波動(dòng)范圍 | 低于100um, 表面斜度所限制 | ||
FLTt重復(fù)性 | 優(yōu)于0.01μm1) | ||
分辨率 | 優(yōu)于0.01μm | ||
數(shù)據(jù)采集量 | 300,000點(diǎn) | ||
測(cè)量時(shí)間 | 小于2s | ||
整體尺寸 | 560mm X 300mm X 400mm | 680mm X 440mm X 880mm | |
重量 | 34kg | 80kg | |
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